发明名称 MANUFACTURE OF ELECTRONIC COMPONENT
摘要
申请公布号 JPH02226752(A) 申请公布日期 1990.09.10
申请号 JP19890047635 申请日期 1989.02.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KOYAMA MASAHIDE
分类号 H01L21/60;H01L21/66;H01L23/50 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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