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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02226746(A)
申请公布日期
1990.09.10
申请号
JP19890046945
申请日期
1989.02.28
申请人
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD
发明人
SHIMIZU OSAMU
分类号
H01L21/768;H01L21/8238;H01L27/092
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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