发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02225666(A) 申请公布日期 1990.09.07
申请号 JP19890045960 申请日期 1989.02.27
申请人 TOKUDA SEISAKUSHO LTD 发明人 KURIYAMA NOBORU
分类号 C23C14/35;H01L21/203 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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