发明名称 VACUUM DEPOSITING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02225659(A) 申请公布日期 1990.09.07
申请号 JP19890007710 申请日期 1989.01.18
申请人 KOMATSU LTD 发明人 MIYAKE TSUNEO;WATABE TAKETO;IMAMURA HARUO
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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