发明名称 BONDING TOOL
摘要
申请公布号 JPH02224349(A) 申请公布日期 1990.09.06
申请号 JP19890048077 申请日期 1989.02.27
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 NAKAMURA TSUTOMU;IMAI TAKAHIRO;IKEGAYA AKIHIKO;FUJIMORI NAOHARU
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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