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发明名称 VAPOR PHASE ETCHING
摘要
申请公布号 JPH02224229(A) 申请公布日期 1990.09.06
申请号 JP19890282545 申请日期 1989.10.30
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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