STRUKTURIERTES BILD UND HERSTELLUNGSVERFAHREN DESSELBEN.,申请号DE19873764032-传众专利搜索

发明名称	STRUKTURIERTES BILD UND HERSTELLUNGSVERFAHREN DESSELBEN.
摘要
申请公布号	DE3764032(D1)	申请公布日期	1990.09.06
申请号	DE19873764032	申请日期	1987.05.22
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US	发明人	LIN, BURN JENG, SCARSDALE, N.Y. 10 583, US;YANG, BEA-JANE LIN;YANG, JER-MING, YORKTOWN HEIGHTS, N.Y.10 598, US
分类号	G03F1/00;G03F1/08;G03F7/11;G03F7/26;G03F7/38;G03F7/40;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/26	主分类号	G03F1/00
代理机构		代理人
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