发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02224270(A) 申请公布日期 1990.09.06
申请号 JP19890012271 申请日期 1989.01.20
申请人 SHARP CORP 发明人 TANIMOTO JUNICHI
分类号 H01L23/522;H01L21/768;H01L21/82;H01L21/8238;H01L27/092;H01L27/118 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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