发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02224224(A) 申请公布日期 1990.09.06
申请号 JP19890044265 申请日期 1989.02.25
申请人 SONY CORP 发明人 KOMATSU YUJI;NOGUCHI TAKASHI
分类号 H01L29/78;H01L21/28 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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