| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR TESTING PROBE CARD FOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02224259(A) |
申请公布日期 |
1990.09.06 |
| 申请号 |
JP19890261249 |
申请日期 |
1989.10.05 |
| 申请人 |
ATSUPURAIDO PRECISION INC |
发明人 |
JIYON POORU SUCHIYUWAATO;RONARUDO SHIISUUBAATO;DONARUDO BEIRII SUNOO |
| 分类号 |
G01R1/073;G01R31/00;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R1/073 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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