发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02224251(A) 申请公布日期 1990.09.06
申请号 JP19890286841 申请日期 1989.11.01
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KANDA AKIHIRO;FUJITA YOSHIRO;HIRAI TAKEHIRO;TANAKA MITSUO;EZAKI TAKEYA
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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