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经营范围
发明名称
PLASMA ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02224239(A)
申请公布日期
1990.09.06
申请号
JP19890084544
申请日期
1989.04.03
申请人
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>
发明人
SATO MASAAKI;ARITA MUTSUNOBU
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
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