发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM TRANSISTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02224343(A) |
申请公布日期 |
1990.09.06 |
申请号 |
JP19890046063 |
申请日期 |
1989.02.27 |
申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
ABE MASAYOSHI;ARAI YASUYUKI |
分类号 |
H01L21/22;H01L21/205;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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