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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02224321(A)
申请公布日期
1990.09.06
申请号
JP19890046193
申请日期
1989.02.27
申请人
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>
发明人
IWATATE KAZUMI;MATSUDA KOREHITO
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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