发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02224336(A) 申请公布日期 1990.09.06
申请号 JP19890047773 申请日期 1989.02.27
申请人 NEC CORP 发明人 IWAMOTO YASUHIKO
分类号 H01L21/306;H01L21/321;H01L21/60 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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