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发明名称
STEAM DRIER
摘要
申请公布号
JPH02224244(A)
申请公布日期
1990.09.06
申请号
JP19890043018
申请日期
1989.02.27
申请人
HITACHI LTD;HITACHI HOKKAI SEMICONDUCTOR LTD
发明人
ICHIKAWA SHINYA
分类号
F26B21/14;H01L21/304
主分类号
F26B21/14
代理机构
代理人
主权项
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