VERFAHREN MIT EINER TROCKENEN MEHRSTUFIGEN PUMPE UND EINER PLASMAWÄSCHE ZUR UMWANDLUNG REAKTIVER GASE,申请号DE19936025581T-传众专利搜索

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发明名称	VERFAHREN MIT EINER TROCKENEN MEHRSTUFIGEN PUMPE UND EINER PLASMAWÄSCHE ZUR UMWANDLUNG REAKTIVER GASE
摘要
申请公布号	DE69325581(T2)	申请公布日期	2000.06.29
申请号	DE19936025581T	申请日期	1993.01.18
申请人	LEYBOLD VAKUUM GMBH	发明人	VISSER, JAN
分类号	B01D53/34;B01D53/32;B01J19/08;(IPC1-7):B01D53/32;F04C29/10	主分类号	B01D53/34
代理机构		代理人
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