| 发明名称 |
SAMPLE FINE SLIDER FOR SCAN TYPE TUNNEL MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02222802(A) |
申请公布日期 |
1990.09.05 |
| 申请号 |
JP19880224205 |
申请日期 |
1988.09.07 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
NISHIOKA SUNAO;YASUE TAKAO;KOYAMA HIROSHI |
| 分类号 |
G01B7/34;G01N23/00;G01Q10/02;G01Q10/04;G01Q60/10;H01J37/20;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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