物理气相沉积用杆状基体夹持装置

摘要

物理气相沉积用的杆状基体夹持装置用于向挤压针表面上沉积TiN、TiC、WC等超硬涂层，它主要包括移动小车及其传动装置，夹具及其传动装置，使挤压针同时作自转、公转和平移运动。该装置的优点是使涂层厚度均匀致密；可同时夹持多个挤压针，生产率高；装卡挤压针迅速、牢固可靠，操作容易；显著提高挤压针耐磨硬度和被挤压管材表面质量，降低废品率；改善劳动条件，明显减少挤压针的手砂和涂油操作，提高生产率和降低能源消耗。

主权项

1、物理气相沉积用的杆状基体夹持装置，由移动小车、移动小车传动装置、轨道、夹具、夹具传动装置组成，移动小车安置在沉积室内并落在轨道上，夹具安放在移动小车上，其特征是：(1)夹具由左、右支架228及安放在支架上的零件构成，左、右支架228安装在长轴230上，长轴通过轴承211支承在移动小车的架体上，左、右支架对应的位置上均有至少一个夹具安装孔，左支架每个安装孔内装有小轴218，齿轮214和卡座222安装在小轴218上，右支架每个安装孔内装有小轴225，卡头224安装在小轴225上，(2)夹具传动装置由长轴230，长轴230和支架228之间的行星轮系，中间传动和沉积室外传动装置组成，行星轮系由齿轮213和至少一个齿轮214组成，齿轮213与长轴的支座211固定成一体不旋转，长轴、中间传动安装到移动小车车架上，位于沉积室外的传动装置的输出轴103通过安装在沉积室内移动小车车架上的中间传动与长轴连接并传动长轴，轴103与轴103上的传动件采用能保证移动小车平移运动的滑链连接。