Pressure sensor.

摘要

Drucksensor, bestehend aus einem Aktivteil aus Halbleitermaterial mit einer Rückseite (12), einer piezoresistive Widerstände (2) mit Anschlüssen tragenden Seite und einem Trägerteil mit Leiterbahnen (31, 311). Aktivteil und Trägerteil sind durch einen Ring (5) verbunden, welcher flach auf dem Aktivteil liegt und die Widerstände (2) umgibt, wodurch zwischen Aktivteil und Trägerteil ein Hohlraum (10) entsteht. Die Anschlüsse für die Widerstände (2) sind isoliert durch die Passivierungsschicht (42) unterhalb des Ringes (5) mittels einer Leiterbahn (22) nach außen geführt. Metallhöcker (3), die die gleiche Höhe wie der Ring (5) haben, verbinden die Leiterbahnen (22) auf dem Aktivteil mit den entsprechenden Leiterbahnen (31, 311) auf dem Trägerteil. Das Aktivteil ist so auf dem Trägerteil befestigt, daß die Widerstände (2) zum Trägerteil zeigen und der zu messende Druck auf die Rückseite (12) des Aktivteils gelangt. Im Betrieb drückt der Meßdruck das Aktivteil gegen das Trägerteil, wodurch ein Abreißen des Aktivteils vom Trägerteil bei hohem Druck unterbunden ist.