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经营范围
发明名称
MAGNETIC FIELD ENHANCED PLASMA ETCH REACTOR
摘要
申请公布号
EP0272142(A3)
申请公布日期
1990.09.05
申请号
EP19870311195
申请日期
1987.12.18
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
CHENG, DAVID;MAYDAN, DAN;SOMEKH, SASSON;STALDER, KENNETH R.;ANDREWS, DANA L.;CHANG, MEI;WHITE, JOHN M.;WONG, JERRY YUEN KUI;ZEITLIN, VLADIMIR J.;WANG, DAVID NIN-KOU
分类号
H01L21/302;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306;C23C16/50
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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