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经营范围
发明名称
DEVICE FOR THE INSPECTION OF WAFERS
摘要
申请公布号
EP0168643(B1)
申请公布日期
1990.09.05
申请号
EP19850107360
申请日期
1985.06.14
申请人
HEIDELBERG INSTRUMENTS GMBH
发明人
BILLE, JOSEF, PROF. DR.;HUNKLINGER, SIEGFRIED, PROF. DR.
分类号
G01R31/26;G01B11/00;G01B11/24;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/95;G01N21/956;G02B21/00;G03F7/20;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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