发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM COOLING METHOD
摘要
申请公布号 JPH02223200(A) 申请公布日期 1990.09.05
申请号 JP19890041706 申请日期 1989.02.23
申请人 IKEGAMI HIDETSUGU 发明人 IKEGAMI HIDETSUGU
分类号 H05H7/00;G21K1/00;H01J37/04;H05H13/04 主分类号 H05H7/00
代理机构 代理人
主权项
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