发明名称 PLASMA PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH02222532(A) 申请公布日期 1990.09.05
申请号 JP19890044202 申请日期 1989.02.23
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 ANDO YASUNORI;TANII MASAHIRO;OGATA KIYOSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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