Method for cutting rod-shaped work pieces into discs using an internal hole saw, and internal hole saw for this purpose.

摘要

Beim Zersägen von stabförmigen Werkstücken in Scheiben mittels Innenlochsäge weicht das Sägeblatt vielfach während des Sägevorganges in axialer Richtung aus seiner Sollposition ab, was letztlich zu Produkten mit geometrischen Mängeln führt. Erfindungsgemäß kann die Abweichung dadurch ausgeglichen werden, daß nach Maßgabe der gemessenen Abweichung Werkstück und Spannsystem des Sägeblattes eine entsprechende translatorische axiale Relativbewegung ausführen. Zweckmäßig wird diese Bewegung über einen Rechner gesteuert, der Ist- und Sollposition des Sägeblattes miteinander vergleicht. Das Verfahren läßt sich insbesondere beim Sägen von Halbleiterstäben einsetzen.