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发明名称 HIGH RESOLUTIONAUTOMATIC FOCUS CORRECTION ELECTRONIC SUBSYSTEM FOR E-BEAM LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 EP0279172(A3) 申请公布日期 1990.09.05
申请号 EP19880100317 申请日期 1988.01.12
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 COLLOPY, THOMAS KEVIN;HAIRE, DONALD FULLER
分类号 H01J37/21;G02B7/28;G03F7/207;H01J37/304;H01L21/027;(IPC1-7):G02B7/11 主分类号 H01J37/21
代理机构 代理人
主权项
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