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经营范围
发明名称
EPITAXIAL DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02222528(A)
申请公布日期
1990.09.05
申请号
JP19890044953
申请日期
1989.02.23
申请人
SUMITOMO METAL IND LTD
发明人
NAKAMURA SEIICHI
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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