发明名称 A MULTIPLE MODE BUCKLING BEAM PROBE ASSEMBLY
摘要
申请公布号 EP0164672(B1) 申请公布日期 1990.09.05
申请号 EP19850106821 申请日期 1985.06.03
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 LEWIS, STEPHAN PAUL
分类号 G01R1/067;G01R1/073 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
主权项
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