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发明名称
MEASUREMENT FOR ELECTRICAL CHARACTERISTIC OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02221880(A)
申请公布日期
1990.09.04
申请号
JP19890042488
申请日期
1989.02.21
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
HIKICHI TOSHIAKI
分类号
G01R31/26;G01R31/00
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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