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发明名称 SPECIMEN INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH02221862(A) 申请公布日期 1990.09.04
申请号 JP19890042699 申请日期 1989.02.21
申请人 CANON INC 发明人 AZUMAYA YOSHIYUKI
分类号 G01N33/543 主分类号 G01N33/543
代理机构 代理人
主权项
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