| 发明名称 |
MAGNETIC BEARING TURBO MOLECULAR PUMP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02221697(A) |
申请公布日期 |
1990.09.04 |
| 申请号 |
JP19890042524 |
申请日期 |
1989.02.22 |
| 申请人 |
SHIMADZU CORP;KOYO SEIKO CO LTD |
发明人 |
INOUE SHINZO;FUJIMOTO YASUKAZU |
| 分类号 |
F04D27/00;F04D19/04;F04D29/04;F04D29/048;F04D29/056;F16C32/04 |
主分类号 |
F04D27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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