发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH02221184(A) 申请公布日期 1990.09.04
申请号 JP19890040668 申请日期 1989.02.20
申请人 OSAKA TITANIUM CO LTD;KYUSHU ELECTRON METAL CO LTD 发明人 ITO MASATO;KITAURA KIICHIRO
分类号 C30B15/14;H01L21/208 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
主权项
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