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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING AND USING BATCH MELT
摘要
申请公布号 JPH02221186(A) 申请公布日期 1990.09.04
申请号 JP19890041230 申请日期 1989.02.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NISHIYAMA SOICHI
分类号 C30B19/00;H01L21/208 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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