发明名称 MASCHERA LITOGRAFICA PER DISPOSITIVI A SEMICONDUTTORE CON FINESTRA DISCAVO A SEZIONE POLIGONALE IN PARTICOLARE AVENTE UNA SEZIONE DI ALMENO
摘要
申请公布号 ITMI991768(A1) 申请公布日期 2001.02.05
申请号 IT1999MI01768 申请日期 1999.08.05
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L. 发明人 ROMEO CARMELO;CANESTRARI PAOLO;FIORINO ANTONIO
分类号 G03F;G03F1/00;G03F7/20;G03F9/00 主分类号 G03F
代理机构 代理人
主权项
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