发明名称 LIQUID PHASE EPITAXY
摘要
申请公布号 JPH02221187(A) 申请公布日期 1990.09.04
申请号 JP19890041304 申请日期 1989.02.20
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 MATSUMOTO KAZUHISA
分类号 C30B19/00;H01L21/208 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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