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经营范围
发明名称
TREATMENT OF DONOR KILLER OF SILICON WAFER
摘要
申请公布号
JPH02220443(A)
申请公布日期
1990.09.03
申请号
JP19890041071
申请日期
1989.02.21
申请人
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD
发明人
MASUI TSUMORU;YASUTOMI KEIZO;TOMIZAWA SHINICHI;TORIGOE MORIAKI;KIDA TAKAHIRO
分类号
H01L21/322;H01L21/324
主分类号
H01L21/322
代理机构
代理人
主权项
地址
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