发明名称 TREATMENT OF DONOR KILLER OF SILICON WAFER
摘要
申请公布号 JPH02220443(A) 申请公布日期 1990.09.03
申请号 JP19890041071 申请日期 1989.02.21
申请人 SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD 发明人 MASUI TSUMORU;YASUTOMI KEIZO;TOMIZAWA SHINICHI;TORIGOE MORIAKI;KIDA TAKAHIRO
分类号 H01L21/322;H01L21/324 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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