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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02220461(A) 申请公布日期 1990.09.03
申请号 JP19890042491 申请日期 1989.02.21
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAMAMOTO MAKOTO;YAMASHITA MASAYUKI;HONMA TAKESHI
分类号 H01L21/8247;H01L21/82;H01L27/10;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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