发明名称 MANUFACTURE OF DIELECTRIC ISOLATION SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH02220456(A) 申请公布日期 1990.09.03
申请号 JP19890040551 申请日期 1989.02.21
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 USUI TAIJI
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/322;H01L21/76;H01L27/12 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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