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发明名称 APPARATUS HAVING PROCESS MONITOR FOR THIN FILM WIRING AND METHOD OF PROCESS MONITORING
摘要
申请公布号 JPH02220454(A) 申请公布日期 1990.09.03
申请号 JP19890329822 申请日期 1989.12.21
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 ARIINA DEIISHIYU;MODESUTO MAIKERU OPURISUKO;JIYON JIEEMUSU RITSUKO;ROORA BESU ROSUMAN;HEREN RII II;ATORIO ZUPIITSUCHI
分类号 H01L21/66;G01R31/28;H01L23/544 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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