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发明名称 ELECTRON BEAM EXPOSURE
摘要
申请公布号 JPH02220426(A) 申请公布日期 1990.09.03
申请号 JP19890040863 申请日期 1989.02.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MITSUSAKA AKIO;KAWAKITA KENJI;HARAFUJI KENJI;HAMAGUCHI HIROMITSU
分类号 H01L21/30;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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