发明名称 SEMICONDUCTOR CAPACITIVE PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH02220476(A) 申请公布日期 1990.09.03
申请号 JP19890040197 申请日期 1989.02.22
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SEKIMURA MASAYUKI
分类号 H01L29/84 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
主权项
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