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1.一种供有机金属前驱物之液体输送化学蒸气沈 积用之溶剂组成物,包括比例为A:B:C之溶剂种类A、 B及C之混合物,其中A系自3至7份体积,B系自2至6份体 积,及C系存在直至3份体积,其中此导体积份数系以 混合物之总体积计,及其中A为C6-C8烷烃,B为C8-C12烷 烃,A及B彼此不同,及C系选自包括乙二醇二甲醚基 溶剂及聚胺。2.如申请专利范围第1项之组成物,其 中,该溶剂种类C系选自包括乙二醇二甲醚、二乙 二醇二甲醚、及四乙二醇二甲醚之乙二醇二甲醚 基溶剂。3.如申请专利范围第1项之组成物,其中, 该溶剂种类C系选自包括N,N,N',N'-四甲基乙二胺、N, N,N',N",N"-五甲基二伸乙三胺、及N,N,N',N",N'",N"'-六 甲基三伸乙四胺之聚胺。4.如申请专利范围第1项 之组成物,其中包括比例为辛烷:癸烷:聚胺之辛烷 、癸烷及聚胺,其中辛烷系自3至7份体积,癸烷系自 2至6份体积,及聚胺系存在直至3份体积,其中该体 积份数系以溶剂组成物之总体积计。5.如申请专 利范围第1项之组成物,其中,A:B:C以体积计为5:4:1。 6.如申请专利范围第1项之组成物,其中,该溶剂种 类C包括N,N,N',N",N"-五甲基二伸乙三胺。7.如申请专 利范围第1项之组成物,其中,该溶剂种类C包括N,N,N' ,N",N'",N"'-六甲基三伸乙四胺。8.如申请专利范围 第1项之组成物,其中,该溶剂种类C包括N,N,N',N'-四 甲基乙二胺。9.如申请专利范围第1项之组成物,其 中,该组成物包括各别体积比为5:4:1之辛烷、癸烷 及聚胺。10.一种供液体输送化学蒸气沈积用之前 驱组成物,包括在溶剂组成物中之金属-二酮盐 前驱物,该溶剂组成物包括比例为A:B:C之溶剂种类A 、B及C之混合物,其中A系自3至7份体积,B系自2至6份 体积,及C系存在直至3份体积,其中该体积份数系以 混合物之总体积计,及其中A为C6-C8烷烃,B为C8-C12烷 烃,A及B彼此不同,及C系选自包括乙二醇二甲醚基 溶剂及聚胺。11.如申请专利范围第10项之前驱组 成物,其中,该溶剂种类C系选自包括乙二醇二甲醚 、二乙二醇二甲醚、及四乙二醇二甲醚之乙二醇 二甲醚基溶剂。12.如申请专利范围第10项之前驱 组成物,其中,该溶剂种类C系选自包括N,N,N',N'-四甲 基乙二胺、N,N,N',N",N"-五甲基二伸乙三胺、及N,N,N' ,N",N'",N"'-六甲基三伸乙四胺之聚胺。13.如申请专 利范围第10项之前驱组成物,其中包括比例为辛烷: 癸烷:聚胺之辛烷、癸烷及聚胺之溶剂混合物,其 中辛烷系自3至7份体积,癸烷系自2至6份体积,及聚 胺系存在直至3份体积,其中该体积份数系以溶剂 混合物之总体积计。14.如申请专利范围第10项之 前驱组成物,其中,A:B:C以体积计为5:4:1。15.如申请 专利范围第10项之前驱组成物,其中,该溶剂种类C 包括N,N,N',N",N"-五甲基二伸乙三胺。16.如申请专利 范围第10项之前驱组成物,其中,该溶剂种类C包括N, N,N',N",N'",N"'-六甲基三伸乙四胺。17.如申请专利范 围第10项之前驱组成物,其中,该溶剂种类C包括N,N,N ',N'-四甲基乙二胺。18.如申请专利范围第10项之前 驱组成物,其中,该有机金属前驱物包括金属-二 酮盐前驱物。19.如申请专利范围第10项之前驱组 成物,其中,该有机金属前驱物包括第II族金属。20. 如申请专利范围第10项之前驱组成物,其中,该有机 金属前驱物包含选自包括Bi、Ca、Cu、Sr、Ba、Pb、 Na、Fe、Al、Sc、Y、Ti、Nb、Ta、W、Mo及镧系金属之 金属。21.如申请专利范围第10项之前驱组成物,其 中,该有机金属前驱物包括锶、铋及钽之-二酮 盐错合物。22.如申请专利范围第10项之前驱组成 物,其中,该有机金属前驱物包括Sr(thd)2(五甲基二 伸乙三胺)、Bi(thd)3及Ta(OiPr)4(thd),其中thd=2,2,6,6-四 甲基-3,5-庚二酮根。23.如申请专利范围第10项之前 驱组成物,其中,该有机金属前驱物包括-二酮根 金属错合物,其中该-二酮根配位子系选自包括: 2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮根; 1,1,1-三氟-2,4-戊二酮根; 1,1,1,5,5,5-六氟-2,4-戊二酮根; 6,6,7,7,8,8,8-七氟-2,2-二甲基-3,5-辛二酮根; 2,2,7-三甲基-3,5-辛二酮根; 1,1,1,5,5,6,6,7,7,7-十氟-2,4-庚二酮根;及 1,1,1-三氟-6-甲基-2,4-庚二酮根。图式简单说明: 图1系利用锶、铋及钽之-二酮盐前驱物在四氢 喃:异丙醇:聚胺之8:2:1溶剂组成物中,用于在180 ℃下蒸发前驱物溶液及沈积钽酸锶铋之液体输送 化学蒸气沈积系统之以托耳(torr)为单位之上游压 力成以分钟为单位之时间之函数图。 图2系利用锶、铋及钽之-二酮盐前驱物,在包含5 :4:1辛烷:癸烷:聚胺之根据本发明之溶剂组成物中, 用于在前驱物溶液于180℃下蒸发后使钽酸锶钽沈 积之液体输送化学蒸气沈积系统之以托耳为单位 之上游压力成以分钟为单位之时间之函数图。 |
