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发明名称 PLASMA EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH02219226(A) 申请公布日期 1990.08.31
申请号 JP19890040666 申请日期 1989.02.20
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 ARAKI HIRONORI;KATAYAMA KATSUO;SUEHIRO TOSHIHIDE
分类号 C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/3213 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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