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经营范围
发明名称
WAFER SCALE INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02219255(A)
申请公布日期
1990.08.31
申请号
JP19890041236
申请日期
1989.02.20
申请人
FUJITSU LTD
发明人
KANASUGI AKINORI
分类号
G01R31/28;G06F17/50;H01L21/66;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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