| 发明名称 |
PROCEDE ET DISPOSITIF DE DETERMINATION DE L'IMPEDANCE D'UNE DECHARGE DANS UN REACTEUR A PLASMA ASSOCIE A UNE BOITE D'ACCORD ET APPLICATION A LA REGULATION DE L'IMPEDANCE OU DU FLUX IONIQUE DANS CE REACTEUR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2633399(B1) |
申请公布日期 |
1990.08.31 |
| 申请号 |
FR19880008514 |
申请日期 |
1988.06.24 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
BERNARD BOUYER;BERNARD ANDRIES;GUILLAUME RAVEL;LOUISE PECCOUD |
| 分类号 |
G01R27/02;C23F4/00;G01R27/22;G01R27/32;(IPC1-7):G01R27/04;C23C14/54;H05H1/24 |
主分类号 |
G01R27/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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