| 发明名称 |
TEMPERATURE MEASURING METHOD FOR USING C-A THERMOCOUPLE IN VACUUM PROCESSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02216423(A) |
申请公布日期 |
1990.08.29 |
| 申请号 |
JP19890038010 |
申请日期 |
1989.02.17 |
| 申请人 |
ANELVA CORP |
发明人 |
SAHASE HAJIME;OKAMURA MASATOMO;ANDO HIDEO |
| 分类号 |
G01K1/02;C23C14/56;G01K7/02;G01K13/00;H01L21/66 |
主分类号 |
G01K1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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