| 发明名称 |
SUBSTRATE INSPECTION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02216407(A) |
申请公布日期 |
1990.08.29 |
| 申请号 |
JP19890038993 |
申请日期 |
1989.02.17 |
| 申请人 |
OMRON TATEISI ELECTRON CO |
发明人 |
KOBAYASHI SHIGEKI |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B11/245;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;H05K13/08 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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