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发明名称 WIRING OF INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02216829(A) 申请公布日期 1990.08.29
申请号 JP19890037569 申请日期 1989.02.17
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 IWAMATSU SEIICHI
分类号 H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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