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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02216873(A)
申请公布日期
1990.08.29
申请号
JP19890038827
申请日期
1989.02.16
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
HIGUCHI TETSUO;IKEGAMI MASAAKI
分类号
H01L27/06;H01L21/8222;H01L29/866
主分类号
H01L27/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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