发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02216825(A) 申请公布日期 1990.08.29
申请号 JP19890037926 申请日期 1989.02.16
申请人 SHARP CORP 发明人 TONOMURA YOSHIAKI
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
地址